净化车间10万级
具有一定空气清洁度要求的房间称为洁净室，集成电路生产过程的大部分环境都需要空气净化处理。根据工艺流程清洁、恒温等不同要求，线性、数字电路车间的清洁等级设计要求为10万级，即粒度为0.5μ尘污垢含量不得超过3500/尝。清洁车间确保环境净化，虽然主要依靠空气净化和空调手段，但如果室内装修处理不当，也会产生严重影响；如室内墙、天花板材料脱落、氧化灰、细节结构灰、天花板、门窗、管道间隙灰等，将直接影响净化效果。因此，对于清洁车间，建筑室内装饰技术比任何其他类型的生产房间都更重要。
净化车间10万级
结构造型与平面组合主体工程设计采用混合结构形式，基本柱网6 2.1 6(m)，两侧外加1.5m宽外廊。每层为埋设公共设施管道增加60层。mm厚石混凝土浇筑层；沿中间走道两侧和走廊内侧的四个纵墙设计为370mm墙体不仅满足了敷设各种隐蔽管道和电气配件的需要，而且避免了室内凸柱堆放，确保了内墙的平整度，非常有利于确保车间的净化。10万级清洁区按其净化要求设计为无窗封闭车间，有效隔离外部环境，避免外部污染。但工人长期从事与外部环境隔离的无窗车间的生产劳动，容易产生抑郁和疲劳。
净化车间10万级
为改善工人的生产环境，设计增加了1.5尘宽敞的封闭式走廊不仅改善了室内照明，而且增加了间接的自然照明，使工人在视觉上与外部环境相连。此外，封闭式走廊直接连接到清洁生产区的走道，并有安全出口。在紧急情况下，工作人员可以尽快疏散。空气净高问题集成电路生产车间的一般设备和设备高度主要为1.5尘以下设备不超过2个尘，这是降低高度的一个有利因素；但建筑净高不能无限降低，因为净高太低容易使工作人员产生沉闷的情绪。一般来说，舒适的建筑视觉感应满足两个条件：净高不低于人体高度的1.5倍，不小于房间深度的1/3。根据相关资料，我国成年男女平均身高分别为1/1.67尘和1.56尘，二者平均为1.61尘。洁净车间女工总数约占75%，实际平均身高较低。如果按平均身高的1.考虑5倍，室内净高应为5倍≥2.4尘;车间深度设计为6尘，净高应按其1/3考虑≥2尘。综合以上因素，确定室内净高取2.4尘。
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